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光刻加工

供稿：本站 | 发表日期：2020-05-08 | 点击数： 233 次

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●设备介绍

SUSS MA6光刻机，正面套刻精度±0.5um，UVLED光源覆盖i、h和g-line紫外波长365-435nm，光强均匀度≤±2.5%，可加工最大晶圆尺寸为6英寸，且能向下兼容不同尺寸。

●样品展示

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地址：江苏省南京市溧水区柘塘镇福游路云海研发大厦
Email：adhesion@bionic-material.com
电话：025-87793780

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